SEMI規格準拠の水素ガス発生装置を発売

マクセルは、半導体製造装置の国際的な業界基準であるSEMI規格に準拠したほか、EUの安全・健康・環境保護基準適合を示す認証マーク「CEマーク」を表示した水素ガス発生装置「HGU-36EN」の受注を2025年4月初旬から開始したことを発表した。

  • 水素ガス発生装置「HGU-36EN」

    水素ガス発生装置「HGU-36EN」の外観 (出所:マクセル)

半導体洗浄用水素水は、ウェハ、液晶基板、フォトマスク基板などの洗浄に用いられ、微粒子の除去や再付着の防止、酸化被膜生成の防止などに効果があるとされる。また、従来方式と比べて、薬品の使用量やリンス用超純水の使用量を削減でき、洗浄コストの削減と環境負荷の低減を同時に行うことも可能だという。

99.99％以上の純度の水素ガスを発生

同装置は、そうした半導体洗浄を行う超純水に溶かす水素を発生させるための装置で、欧州RoHS指令にも適合した環境配慮製品という位置づけ。固体高分子電解質形水電解方式を採用し、スタートスイッチを押すだけで、純水を電気分解し、その場で99.99％以上の純度の水素ガスを発生させることができる。また、7つのアラーム機能を搭載するなど、安全に配慮した設計も取りれられているとするほか、供給先の機器と連動した装置運転も可能とする操作容易性も兼ね備えているとする。

この記事は
Members+会員の方のみ御覧いただけます

ログイン／無料会員登録

会員サービスの詳細はこちら