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3次元実装の普及促進に期待、岡本工作機械がSiウェハ裏面からTSVを露出させる全自動研削装置を開発

TSVウェハ用全自動研削装置の外観(左)と、そのレイアウト(右)。ウェハ搬送システムである「Equipment Front End Module(EFEM)」と洗浄部では、それぞれのロボットがウェハを搬送しステージ間を移動していく。研削部ではインデックステーブルが回転することで粗研削、仕上げ研削へとウェハが移動する仕組みだとなっている (出所:JSTプレスリリースPDF)

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