三井化学は10月22日、超高精細ナノインプリント向けフッ素系材料「FROMP」を開発したと発表した。

詳細は、10月22日～24日に開催される「第13回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議(NNT2014)」にて発表された。

同開発品は、独自の触媒技術を駆使し、ナノインプリントのレプリカモールドに最適な仕様となるように分子構造が設計されており、優れた透明性と耐光性を有することから、UV硬化型材料に用いることができる。また、様々な材料からの離形が容易で、幅広い材料の型に使用できる。さらに、マザーモールドのパターンを、正確にレプリカモールドへ転写し、40nm L/Sの超高精細を達成できるとしている。

「FROMP」を用いたナノインプリント(フィルムの中心部分)

ナノインプリント部分の拡大図(モールドに刻まれたラインの太さ、間隔は約40nm)