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2030年代にはNA=0.75の超高NA EUV露光装置が必要に、ASMLが必要性を強調

図3 各露光技術別のトランジスタあたりのコストの変遷と今後の予測。2030年代半ばまでにNA=0.75のEUV露光装置が登場するかもしれない

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