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3次元実装の普及促進に期待、岡本工作機械がSiウェハ裏面からTSVを露出させる全自動研削装置を開発

通常の砥石(左)と、今回開発された砥石(右)。左と比べ、右の砥石には多くの気孔があるため、目詰まりしにくい構造になっている (出所:JSTプレスリリースPDF)

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