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東工大、LTPSに匹敵する性能と安定性を備えたアモルファス酸化物TFTを開発

ITZO TFTのNBTS(ア)、同PBTS(イ)、NBIS(ウ)の試験結果。条件は(ア)が-20V・60℃、(イ)が20V・60℃、(ウ)が-20V、室温 (出所:東工大プレスリリースPDF)

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