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東工大、LTPSに匹敵する性能と安定性を備えたアモルファス酸化物TFTを開発

アモルファス酸化物半導体の候補元素(ア)、高移動度と低移動度酸化物半導体の電子構造比較(イ)、さまざまなアモルファス酸化物半導体(ウ)のエネルギーレベル(紫外光電子分光を用いた実測値) (出所:東工大プレスリリースPDF)

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