三菱重工業は8月12日、自社開発の常温ウェーハ接合装置を使って、社外からの依頼に応じて多様な素材同士を接合する、ウェーハ接合サービス事業を開始した。

接合サービスは、技術統括本部 先進技術研究センター(横浜市金沢区)と工作機械事業部(滋賀県栗東市)のデモ装置4台をフル稼働させて対応する。料金は、ウェーハのサイズ、数量などにより決定。より小さなチップサイズでの接合テストにも条件付きで対応する。