三菱マテリアルの電子材料事業カンパニーは1月25日、連結子会社である三菱マテリアル電子化成と共同で、高純度化と内部応力の低減によって実用性が格段に向上した、角型の一辺が1200mmを超える世界最大級の柱状晶シリコンの製造技術を確立したと発表した。

柱状晶シリコンは、一方向に結晶を成長させて凝固させた「柱状」の結晶構造を持つ多結晶シリコン。シリコンは材質が脆性なことに加え、凝固過程において膨張するため、大型になると割れやすい。同社は、これまで培ってきた精密鋳造技術を駆使することにより、高純度化と内部応力の低減を実現する製造技術を確立し、実用性が格段に上がった大型柱状晶シリコンを安定的に製造することに成功した。同製造技術の確立により、現在同製品が利用されている分野である半導体製造装置用部材やスパッタリングターゲット材料なでの利用拡大が見込まれるとする。

同社は2016年度中を目途に、大型柱状晶シリコンをサンプル出荷する予定。また、2017年2月15日～17日に東京ビッグサイトで開催される「新機能性材料展2017」への出展も予定している。

世界最大級の柱状晶シリコン