アルバック、高品質なリチウム極薄膜を実現できるRoll to Rollのリチウム蒸着装置を開発

アルバックは2月13日、リチウム金属を金属箔上に成膜できる巻取式(Roll to Roll)方式の真空蒸着装置「EWK-030」を開発し、2025年5月より販売を開始する予定だと発表した。

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  リチウム蒸着装置「EWK-030」 (出所:アルバック)

同装置は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「グリーンイノベーション基金事業/次世代蓄電池・次世代モーターの開発」プロジェクトの成果の1つ。同社が長年培ってきたキャパシタ用フィルムなどに対する金属薄膜蒸着技術を応用することで、空環境下で金属箔上にリチウムを成膜することを可能としたものとなる。