レポート

【13 / 16】PCテクノロジートレンド 2023 - プロセス編

Photo13: EUVはPT CampusのP3L(S5 Line Phase 2)に設置されている。このP3Lの下にある部分が、Photo12で2023年から稼働を開始する新施設と思われる。

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