東京エレクトロン デバイスは、異常判別分析モデル生成マシン「CX-M」に「教師なし学習」機能を追加し、「CX-M ver2.0」として6月6日より提供開始すると発表した。

CX-Mは、時系列データを入力すると「データクレンジング」「特徴の抽出」「機械学習による判別モデル作成」「判別精度検証」を独自ソフトウェアで行い、異常判別プログラムを自動で生成する専用マシン。

今回、「CX-M ver2.0」で追加された「教師なし学習」機能は、故障や異常時のデータが手元になくても生産設備の正常稼動のデータを定量的に分析し、装置状態に定量的な変化がないかを分類・判別する。

これにより、正常・異常のデータから判別モデルを作る「教師あり学習」機能と正常データから分類モデルを作成する「教師なし学習」機能の、両面からデータ分析をサポートする事が可能になるという。

  • 「CX-M ver2.0」の概要