東京エレクトロン(TEL)は7月1日、最大8スピンモジュールを搭載した次世代スクラバー洗浄装置「NS300Z」を発表した。

同装置は、同社の洗浄装置「NS300+HT」に搭載しているプロセスモジュールの特徴を継承し、さらなる高生産性を実現することを目的に開発されたもので、スループットは従来比200%となる毎時最大1000枚を実現しつつ、プリ・ポスト搬送機能も搭載しており、これにより洗浄工程の課題の1つであったウェハ搬送時のコンタミネーション防止が彼のになるという。

また、2流体スプレー(AS2:Atomized Spray2)およびブラシを従来機より改善することで、先端デバイス製造においても生産性の高い幅広いスクラバー洗浄プロセスを実現したという。

TELの次世代スクラバー洗浄装置「NS300Z」