東芝、15nmプロセス採用NANDメモリの製造を行う四日市工場第5製造棟を稼動

東芝とサンディスクは9月9日、NAND型フラッシュメモリの製造を担当している東芝四日市工場の第5製造棟の第2期分の竣工式および、新・第2製造棟の起工式を行ったことを発表した。

第5製造棟(第2期分)は、2013年8月から建屋の建設が行われ、2014年7月より生産設備の導入が進められてきており、9月より15nmプロセスを採用した製品の量産を開始し、同月末より順次出荷を開始する予定だという。

一方の新・第2製造棟は、3次元構造のNAND型フラッシュメモリ(3Dメモリ)の専用設備を設置する拡張スペースを確保するために東芝が建設するもので、2015年夏に一部が竣工し、2016年前半には全体が竣工する予定。鉄骨2層5階建てで、建屋面積は2万7300m2としており竣工した建屋から順次生産体制を構築する計画だとしている。

なお、第5製造棟(第2期分含む)の概要は以下のとおり。

  • 建物構造:鉄骨2層5階建
  • 建屋面積:3万8000m2
  • 着工:(第1期)2010年7月、(第2期)2013年8月
  • 竣工:(第1期)2011年7月、(第2期)2014年9月

四日市工場第5製造棟の概観

四日市工場第5製造棟の第1期クリーンルーム内の様子

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