ヨコオは9月14日、狭ピッチ短尺プローブ「YPN」シリーズとして、80μmピッチ対応ウェハRF検査用プローブを開発したと発表した。

スマートフォンやタブレット端末の急速な普及により、RFデバイスも高機能かつ小型化が進み、ウェハ検査用コンタクタにもさらなる狭ピッチ化と高周波性能が求められている。

同社では、これまで200～130μmピッチ対応の「YPL」シリーズと100μmピッチ対応の「YPN」シリーズを展開してきたが、RF検査市場におけるさらなる狭ピッチに対応するため、今回80μm品の開発を行った。また現在、60μm品も開発中だという。

80μm対応品は、1ピンより交換可能な他、マルチサイトに対応する。これにより、2000ピン以上のコンタクトも可能。また、評価時のハンドテストとのデータ相関が容易にとれる。この他、ストロークは100μm、インダクタンスは1.1nh/ピン(@GSG配列)、周波数特性は挿入損失が12GHz@-1dB(@GSG配列)となっている。

販売は2012年の秋からを予定している。