KLA-Tencor、20nm以降のノードに対応するレチクル検査装置を発表

KLA-Tencorは、20nm以降のデザインノードに対応するレチクル品質管理ソリューション「Teron SL650」を発表た。

同装置は、独自光学技術「STARlightSD」および「STARlightMD」を使用することでシングルダイおよびマルチダイのレチクルに対応し、高い欠陥捕捉と包括的な検査領域を実現している。また、「STARlightMapsテクノロジ」により、長期間にわたってレチクルの劣化を追跡することが可能であり、リソグラフィプロセスウィンドウやパターン形成に影響を与える可能性があるCD、膜厚、反射防止膜などの変化を特定することも可能だ。

さらにEUVとも互換性を有しているため、ファブ内のEUVレチクル検査ニーズに対して、半導体ベンダとの早期連携作業を行うことが可能だという。