浜松ホトニクスは9月22日、同社の連結子会社である米Photonics Management(PMC)が、半導体検査装置に組み込まれる光源を製造、販売する米Energetiq Technologyを子会社化(浜松ホトニクスの孫会社化)することを決議し、9月20日付けで株式譲渡契約を締結したことを発表した。
半導体の検査装置市場では、ウェハ上のパターンや膜厚検査工程の時間短縮ならびに精度向上に向け、高輝度な紫外線領域の光源が求められており、今後のプロセス微細化では、さらなる短波長への対応も必要とされている。Energetiqは、レーザ励起光源(LDLS:Laser Driven Light Source)では高いシェアを有しているほか、従来の半導体検査用光源よりも波長が短い極紫外線(EUV)を製品化しており、浜松ホトニクスでは、今回の孫会社化を機に、これまで手がけてきたキセノンランプや水銀キセノンランプなどに、LDLSおよびEUVを加えることで、半導体検査装置市場からの要求に対応していくとしており、今後、両社が培ってきた光源開発技術を組み合わせることで開発速度を上げるとともに、より高付加価値な製品を開発し、環境分析用途など半導体検査以外の新たな市場を開拓していきたいとしている。
また、同社は光源に加えて受光素子も生産していることから、光源と受光素子を組み合わせることで、製品性能を最大限に引き出すことで、市場の要求に対応を図っていきたいとしている。
