キヤノン、KrF半導体露光装置 FPA-6300ES6aの生産性向上オプションを発表

キヤノンは12月14日、メモリー/ロジックなどの半導体量産工場において定評のあるKrF半導体露光装置「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade6」を2017年1月に発売すると発表した。

生産性向上オプション「Grade6」は、ステージ速度向上や制御方法の最適化により、露光処理時間を大幅に短縮し、300mmウエハーにおいて、毎時255枚という高い生産性を実現し、CoOの低減が求められる半導体メーカーのニーズに応えるとしている。また、重ね合わせ精度が求められるプロセスについては、露光装置上でのモード切替え設定のみで対応ができる。

同社は「Grade 6」について「キヤノンはKrF半導体露光装置『FPA-6300ES6a』を2012年4月に発売以来、継続的に生産性向上オプションを開発、販売することで装置のアップグレードを行い、市場で高い信頼と評価を得てきました。新たに発売する生産性向上オプション『Grade6』を搭載することで更なる生産性向上のニーズに対応します」と説明している。