日立ハイテクノロジーズ(日立ハイテク)は、9月7日から9月9日まで幕張メッセ国際展示場にて開催されている分析機器・科学機器関連の展示会「JASIS 2016」に新型の走査電子顕微鏡(SEM)「FlexSEM 1000」を展示している。

「FlexSEM 1000」は同社ブースのひときわ目立つところに展示されている

今夏より販売されている同製品は、本体幅45cmというコンパクトな大きさながら、上位機種と同等レベルの分解能4nmを実現。上段の装置本体と下段の電源ボックスを分離したことで、卓上への設置が可能となった。また、AC100V 3Pコンセント接続が可能となったことで、設置場所の自由度が大幅に向上されている。

また、撮影したカメラ像やSEM像から、観察したい試料位置を素早く発見し、拡大して観察を行うことができるナビゲーション機能「SEM MAP」が今回新たに搭載され、直感的な操作が可能となったことも同製品の特徴だ。

説明員によると、大学、企業など幅広くさまざまな分野での導入が決まっているとのこと。国内販売価格は1700万円(税別)からとなっている。

下段の電源ボックスを分離して卓上に設置することが可能

初心者にもわかりやすいUIとなっている