ニコンは10月23日、第5.5世代(1300mm×1500mm)のガラス基板に対応した液晶/有機EL露光装置「FX-67S」を発表した。

同装置は、複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムの高解像度化のために、新たな調整機構を採用したほか、独自の超解像技術を採用した照明系を新規開発。さらに計測ポイントを最適化した新オートフォーカスシステムも搭載し、2μmの(L/S:Line and Space)の解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保することに成功している。

また、測長干渉計軸を増やし、位置計測システムを新設計したことで計測安定性が向上、これにより±0.5μmの高精度アライメントを実現したという。

これらの機能により高解像度・高精度アライメントに加えスループットも第5.5世代ガラス基板の場合、4型パネルで2万枚/時、7型パネルの場合6900枚/時を実現可能としている。