東京エレクトロン(TEL)は、東北大学 国際産学連携集積エレクトロニクス研究開発センター(仮称)において実施するプログラムの1つである、STT-MRAMの研究開発に参画し、製造装置の技術開発を実施すると発表した。

東北大学は、半導体関連分野において長年にわたり優れた研究実績を多く有している。そうした中、同社はSTT-MRAMの製造装置技術とその集積化技術に関して、2011年12月より同大の遠藤哲郎教授と共同開発を進めてきた。今回の研究開発プログラムでは、この協力関係を発展させ、自社開発の製造装置群を同センターに導入し、次世代メモリデバイスとして注目されるSTT-MRAMの製造装置技術とその集積化技術の早期確立を目指すとしている。

なお、TELでは、東北大学の同センター開設の趣旨に賛同し、東北大学青葉山新キャンパス内にクリーンルームを含む研究開発棟を建設、同大学へ寄付を行う。同センターは2013年春に開設され、次世代半導体メモリから高性能ボード技術やパッケージング技術などの集積エレクトロニクスに関する共同研究が幅広く展開される予定。