島津製作所は3月27日、自社のエネルギー分散型蛍光X線分析装置「EDX-7000/8000」向けに、直径1mm以下の異物や微小領域のめっき厚などの分析を可能とする「微小部分析キット」を発売した。

同分析キットは、主に金属の解析に用いられてきたEDXを、従来の運用方法をそのままに微小領域における分析精度を高めることを目指して開発されたもの。キットに含まれる微小部対応コリメータプレートを用いることで、従来のX線照射径が直径1mmであったものを、最小で直径0.3mmまで絞ることを可能としたほか、装置内部の試料観察カメラの解像度を約2.5倍向上した高解像度カメラも含まれているため、微細異物を始めとする試料を拡大して観察したり、分析結果を画像とともに保存する際などに、より高精細な画像を用いることが可能になるという。

なお、同キットの構成は、「微小部対応コリメータプレート」、「高解像度試料観察カメラ」、「微小部分析対応ソフトウェアインストール用メディア」、「取扱説明書」となっており、価格は48万円(税別)となっている。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置「EDX-7000」の本体