ギガフォトン、新型エキシマレーザーを開発 - 大型液晶製造設備にも対応

コマツの子会社で半導体リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトンは6月24日、高信頼性半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、新型エキシマレーザー「GIGANEX」の開発に成功したと発表した。

GIGANEXは、FPD製造・フレキシブルデバイスプロセスなどの分野に向けたエキシマレーザーの新ブランド。今回開発に成功した第1号試作機は、従来のa-Si(アモルファスシリコン)では作ることが出来なかった8Kなどの高精細パネルの製造が可能になり、50-70インチの大型TVパネルを製造する大型液晶製造設備にも対応できる。

この第1号試作機はパネルメーカーに出荷され、LTPS(低温多結晶シリコン)TFT液晶パネルの試作成功に貢献。5月22日～27日に米国で開催された「SID Display Week 2016」に同試作パネルが出展された。