絶縁物試料も前処理なしで観察・分析可能な卓上電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズは絶縁物や水を含んだ試料も前処理無しで誰でも手軽に観察・分析できる卓上電子顕微鏡「TM3030Plus」を開発しました。この製品は幅33cm、奥行き60.6cm、高さ56.5cmとコンパクトでありながら、上位機種でも採用されている半導体反射電子検出器と独自の低真空2次電子検出器を標準装備することで低真空における高画質観察を可能としています。

従来の電子顕微鏡は高真空にして観察します。この製品は低真空を標準で採用しています。低真空のメリットは大きく2つあります。1つ目は絶縁物試料。導電性が無いサンプルになりますと、従来はスパッタコーティングをしないとチャージアップ現象という像障害を起こしてしまいます。低真空にすることで、絶縁物試料もそのまま観察することができるようになっています。2つ目は含水物。水分の多いサンプルでも低真空下でそのまま観察できるようになっています。

定評のある日立ハイテクノロジーズの低真空技術によって、低真空でも明るく、早いスキャンでも使用できる快適な操作環境を実現しています。また最大30㎟まで対応するEDX検出器をオプションで搭載可能です。より短時間で元素分析ができます。

この電子顕微鏡はオート機能が非常に充実しています。GUI上でスタートボタンをクリックしますと自動でオート輝度、オートフォーカスが働き、倍率100倍で画像を表示します。ユーザはその後、自由に見たい倍率に調整していただくだけで観察することができます。従来の電子顕微鏡は難しいという概念がありましたが、こちらはより使い易く、従来の電子顕微鏡の難しさを排除して簡単に操作、観察ができる顕微鏡です。

日立ハイテクノロジーズは半導体・材料系・生物系などの幅広い分野の研究開発や品質管理などに向けて提供するとともに、小中学校や科学館など理科教育現場へのサポートも引き続き行っていきます。


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