ギガフォトン、LPPのEUV光源で出力108Wを24時間安定発光させることに成功

 

ギガフォトンは12月14日、EUVスキャナ用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機において、エネルギー安定性平均0.5%以下にて、光源出力108Wの安定発光を、24時間連続運転することに成功したと発表した。

これは同社の、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術などを進化させたこと、ならびにエネルギー制御技術の改善によって達成したものだという。

なお同社では今後、2015年末までに高出力検証機を稼働させ、メモリなどへの量産対応目安である光源出力250Wレベルの達成を目指すとしている。



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