昭和電工、パワー半導体用SiCエピウェハー 6インチ品の生産能力増強

昭和電工は、パワー半導体の材料である炭化ケイ素(SiC)エピタキシャルウェハー(エピウェハー)の6インチ(150mm)品の生産能力を月産400枚から1,100枚に増強した。

これにより、月産能力は4インチ(100mm)換算で従来の約6割増となる2,500枚になった。また、高性能デバイスに対応し、低欠陥化を進め均一性を向上させた新グレード製品の出荷を10月より開始する。

昭和電工はエピウェハーに関して3インチ(76.2mm)品、4インチ品、および6インチ品の製造、販売を行っている。今回、特にデバイスの生産効率が高い大口径6インチ品の供給を拡大するために全サイズに対応可能なCVD装置を増設した。新装置は従来装置に比べエピの生産効率性が約30%高く、デバイスのさらなるコスト低減にも貢献する。