東京エレクトロン(TEL)は3月18日、第8世代(G8)ガラス基板対応の有機ELパネル製造用インクジェット描画装置「Elius 2500」の受注を開始したことを発表した。

同装置は、同社とセイコーエプソンが2010年に締結した共同開発契約に基づき開発が進められてきたもの。有機ELの発光層成膜は、従来、真空蒸着装置が用いられてきたが、それをインクジェット方式に置き換えることで、大気中で大型ガラス基板に有機材料を必要量のみ吐出することで成膜することが可能になるため、テレビ用途のような大型化や低コスト化を容易に行うことが可能になる。

なお、TELとエプソンは、今後も有機ELディスプレイ市場の拡大に向けた取り組みを協力して進めていくとコメントしている。