ギガフォトンは、EUV露光用レーザー励起型プラズマ(LPP)光源において、最大20W相当のEUV発光を確認したと発表した。これにより、同社はプレプロダクションに適用可能なレベルの出力を達成できたと説明している。

同社は2002年よりEUV向けLPP光源の開発を行ってきており、20μm以下の微小ドロップレットのオンデマンド供給、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去などの技術を開発してきた。今回のEUV発光は、Snターゲット(ドロップレット)に、固体レーザーによるプリパルスとCO2

なお同社では今後、さらなる開発を進める事で、最終的には250W@I/Fの実現とその量産化を果たすことを目指すとしている。