大日本スクリーン製造(DNS、SCREEN)は11月28日、スマートフォン搭載カメラなどへの需要が急増している裏面照射型CMOSセンサや、ハイブリッド自動車/電気自動車、太陽光発電といった再生可能エネルギーシステムの電子制御に不可欠なパワー半導体の生産に対応する枚葉式洗浄装置「SU-2000」を2012年12月より発売すると発表した。

裏面照射型CMOSイメージセンサやインバータなどに用いられるパワー半導体素子の製造工程では、ウェハを薄く加工する必要があるため、洗浄プロセスにおいても超薄型ウェハへの対応が求められるようになってきているほか、そうした半導体素子の量産には、従来の量産ラインを利用することも多いため、置き換えや増設が可能なコンパクトで生産性の高い枚葉式洗浄装置が求められるようになっている。

同装置は、同社の半導体製造装置事業の主力製品である洗浄装置「SU-3200」の技術とノウハウを継承、活用しつつ、超薄型ウェハに対応可能な洗浄方式を採用したもので、省スペース化およびコストパフォーマンスを追求しながらも回路の微細化や新しい生産手法にもフレキシブルに対応できるといった特長を有しているという。

なお同社では同装置の発売により、新たな分野に向けた製品ラインアップの拡充を進め、事業領域の拡大を図っていくとしている。同装置の年間販売予定台数は15台としている。

DNSの枚葉式洗浄装置「SU-2000」の外観