島津製作所は10月22日、日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門(以下、原子力機構)と共同で、最高クラスのレーザー耐性を持つレーザーミラーおよび高耐力ARコーティング(反射防止膜)を開発したと発表した。

同社と原子力機構は、高強度のレーザー光であっても破壊されにくいレーザーミラー(高耐性レーザーミラー)の研究過程で、レーザー光によってミラーが破壊されるメカニズムを解明。結晶化しにくいアモルファス膜ほど高強度のレーザー光に対して優れた耐性を有するという研究成果を得た。

この研究成果を元に、成膜中の多層膜に酸素イオンを照射する技術の導入と、多層膜の成膜スピードといった条件の最適化により結晶化しにくい誘電体多層膜の成膜技術を開発。今回のレーザーミラーの開発および従来の2倍の耐性を持つ高耐力ARコーティング取得に至った。

同レーザーミラーは、原子力機構・関西光科学研究所で実施されている文部科学省の公募型プログラム「最先端の光の創成を目指したネットワーク研究拠点(平成20-29年度)」で現在研究開発中の「高出力THz波発生光源用のドライバーレーザー」で使われているレーザーミラーなどの光学素子に採用されている。

島津製作所