計測機器大手Agilent Technologiesの日本法人であるアジレント・テクノロジーは9月11日、半導体パラメータ自動測定ソフトウェア「SPARK」の機能を拡張し、多チャネル化による高速評価、ベンチトップ型ソース/メジャーユニット(SMU)「Agilent B2900Aシリーズ プレシジョンソース/メジャーユニット」に対応させたと発表した。

近年、エネルギーを効率的に利用する観点から、SiCに代表されるより低損失なパワー半導体への期待が高まっており、さらなる信頼性の向上のための開発が進められている。「SPARK」は、半導体パラメータアナライザ、LCRメータ、スイッチングマトリクス、各社のオートプローバやセミプローバ用のドライバを標準装備し、プログラムを作成することなく半導体パラメータの自動測定を実現することができる。測定条件、ウェハマップ、測定チップを設定した後、測定開始ボタンを押すだけで、連続測定を行うことが可能。また、測定後にはデータの統計解析機能を使って、データの加工を行うことができる。

今回の機能拡張では、信頼性テスト手法の1つであるTDDB(酸化膜経時破壊)測定機能の多チャネル同時測定に対応した。これにより、多量のデバイスにおいて繰り返し評価試験を実施する際、例えば同時に100個のパワー半導体の測定ができ、従来比10倍のスピードでの評価が可能となっている。