東京エレクトロン(TEL)は12月5日、東北大学の遠藤哲郎教授を研究代表者として、東北大学省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセンターと、スピントロニクスメモリの集積化技術とその製造技術に関する共同開発を開始することに合意したことを発表した。

スピントロニクスメモリは、低消費電力で書き込み速度が高速という特長を持つ不揮発性メモリであり、次世代の省エネ電子機器のキーデバイスとして注目されている。

同センターは、以前よりスピントロニクスメモリに必要な磁性体材料技術・デバイス技術と半導体デバイス技術の研究に取り組んでおり、すでに世界最高クラスの性能を実現したスピントロニクス素子やスピントロニクス集積回路を開発するなどの実績を有している。

今回の共同開発の開始により両者は、TELが開発したスピントロニクスメモリ向けエッチング装置や洗浄装置を活用し、磁性材料技術やデバイス技術・設計技術を進展させ、早期の量産技術の確立を図っていくとしている。