エプソントヨコムは8月24日、絶対圧センサ「XP-6000CA」を開発したことを発表した。2010年10月よりサンプル出荷を開始する予定となっている。

絶対圧センサ「XP-6000CA」

同製品は、水晶素材をベースに同社の精密微細加工技術「QMEMS」技術を用いることで独自の受圧構造を開発。圧力総合精度±30Pa、分解能0.3Paを実現しつつ、7.0mm×5.0mm×2.0mmの小型パッケージサイズを実現している。

また、水晶をセンサ素子の素材としているため、温度などの外部環境の変化に対して安定したセンサとなっており、使用温度範囲は-40℃～+85℃となているほか、測定圧力範囲は30kPa～130kPaとなっている。

さらに、圧力計測を行うために水晶振動子の計測技術を応用した周波数カウント方式を採用する事で、ノイズの影響を受けにくい圧力計測を実現している。

ちなみに0.3Paの分解能というのは、例えば高さが1cm変化すると気圧が約0.1Pa変化することから換算すると、0.3Paの気圧変化は、高さ換算で約3cm単位での変化量が検出できるということとなる。同社では、このような微小な圧力変化の検出を小型サイズで実現することで、活動量計やPersonal Navigation Device(PND)などのモバイル機器において、細かな高度計測が可能となることから、こうしたモバイル機器の活用の幅を広げていければとしている。