凸版、300mmウェハ対応のイメージセンサ用オンチップCFの製造ラインを構築

凸版印刷は、同社熊本工場内に、300mmウェハに対応可能なイメージセンサ用オンチップカラーフィルタ(CF)の製造ラインを構築したことを発表した。2009年7月中の本格稼働を予定している。

オンチップCFは、Siウェハ上に形成された受光素子(フォトトランジスタ)の上に直接、色分解するためのCFと、集光効率を高めるためのマイクロレンズを積層形成したもので、CCDやCMOSなどのイメージセンサで取り込むデジタルデータの色を決定する部分。

凸版では、イメージセンサを生産する半導体メーカーより、受光素子を形成したウェハを預かり、オンチップCFを追加形成する事業を展開しており、今回の300mm対応により、従来の200mmウェハラインと海外生産分を含め、生産能力は約20%向上し、月産4万5,000枚(200mmウェハ換算)になる。

なお、同社では、300mmウェハ対応を強みとして打ち出し、事業の拡大を目指すほか、より高精彩、高機能なオンチップCFの開発を進めていくとしている。



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