TSMC、65nmプロセスをベースにしたMTP NVM技術を開発 - 2.5V駆動に対応

  [2009/07/07]

ファウンドリ大手のTaiwanTaiwan Semiconductor Manufacturing(TSMC)の日本法人であるTSMCジャパンは、動作確認済みの65nmマルチタイム・プログラマブル(MTP)不揮発性メモリ(NVM)プロセス技術を開発したことを明らかにした。同技術には、Vilage Logicと共同開発したプロセス認証済みMTP IPブロックが含まれている。

TSMCの65nm LPプロセスをベースにして開発された同技術は、最大8kビットのメモリ容量で、2.5V駆動を実現している。

同社のCu/low-kプロセス技術およびNiSi技術を用いた10層のメタル配線に対応し、ロジックと互換性を有しており、NVM用にプロセスやマスクを追加する必要がないのが特長だ。

同NVMは、温度範囲-40℃~+125℃での読み出しおよびプログラムの完全動作と、125℃でのデータ保持期間10年以上を保証しており、外付けEEPROMを除外することができるため、システム全体としての電力、面積、コスト低減が可能なほか、外部メモリが不要となるため、データのセキュリティも向上させることが可能となる。

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