STMicroelectronicsの日本法人であるSTマイクロエレクトロニクスは6月11日、1軸/2軸MEMSジャイロ・センサファミリとして、30dpsから6,000dpsフルスケールに対応する「LY5xxALH」(1軸)「LPR5xxAL」「LPR5150AL」「LPY5xxAL」「LPY5150AL」(2軸)各ファミリ15製品を発表した。このうち、30dpsおよび120dpsフルスケールによる2軸ジャイロ(ピッチ&ロール)「LPR503AL」、500dpsおよび2,000dpsによる2軸ジャイロ(ピッチ&ヨー)「LPY550AL」がすでにサンプル出荷を開始している。価格は大量購入時で約2.5ドルとしている。また、全ファミリは2009年度第3四半期より量産開始を予定している。

角速度の回転における主要3タイプ(ヨーは垂直軸中心、ロールは前後軸中心、ピッチは左右軸中心)

これらのジャイロは独自設計に基いており、通常の角速度出力と、検出角速度範囲を狭めて高精度計測用に感度を4倍に増幅した出力の2系統を軸ごとに独立して出力することができるため、設計の柔軟性とユーザ体験を向上させることが可能だ。

1軸/2軸ジャイロ・センサの新ファミリ一覧

また、幅広い温度範囲で優れた安定性を誇っており、ゼロレート(静止時)出力に対する変動は通常0.05dps/℃未満で、アプリケーションにおける追加の温度補正も不要である。さらに、30dpsフルスケールにおいて0.014dps/V￣Hz のノイズ特性を有しており、出力信号に与える影響を最小限に抑えることができ、計測精度を確保することが可能となっている。

これらのMEMSジャイロは、すでに出荷された同社の加速度センサで採用されてきたプロセスにより機械的ストレスに対する耐性を備えるほか、2.7～3.6 Vの電源電圧で動作する。パッケージはLGA(5mmx5mm)を採用し、厚みのあるセラミック・パッケージと比較すると、高いはんだ安定性を実現するという。