半導体製造装置などを手がける米Applied Materials(AMAT)は、装置制御/プロセス制御ソリューション「Applied E3」を発表した。これは、半導体、FPD、太陽電池製造工場の生産性向上とコスト削減を実現する包括的なFAソフトウェアパッケージで、独自のアルゴリズムを採用することで、プロセス効率を30%以上高め、予定外のダウンタイムやサイクルタイムを短縮し、全体的な装置効率を最大20%向上させることができるという。

モジュールを組み合わせることでさまざまな機能を実現でき、装置オートメーション、データ収集、ロジック処理などの機能により、APC(自動プロセス制御)アプリケーションの構築、導入、保守を簡単に行うことが可能だ。また、FDC(欠陥検出・分類)機能により、装置のパラメータを収集・分析し、装置のプロセス性能に関する問題についてフィードバックして、生産性低下につながる予想外の装置停止を回避することができるようになる。

さらに、R2R(ランツーラン)制御機能では、自社特許のフィードバックアルゴリズムを用いることで、リアルタイムでパラメータを調整してプロセス変動を低減し、アウトプットの一貫性、歩留まり、生産性を高めることができるほか、EPT(装置性能トラッキング)機能により工場のあらゆるプロセス装置をモニタし、ビジュアルな統計レポートツールによりボトルネックを識別して工場の生産効率を高めることができるようになる。