アイログは19日、同社の半導体ソリューション「ILOG Fab PowerOps」についてIBMとの販売協業を行うと発表した。

ILOG Fab PowerOps(ILOG FPO)は半導体製造工程においてスケジューリングを行うアプリケーション。拡散や洗浄、露光、エッチング、薄膜形成といった多段階からなるウエハー処理のスケジューリングを行う。また、進捗状況を可視化することで、装置の運転中断や至急ロットへの対応能力が向上するほか、現状の生産能力を十分に活用することで設備投資の支出を削減することが可能になる。

今回の契約では、SiViewやLCDViewなどIBMの製造工程管理システム(MES)を導入している顧客に対してILOG FPOの販売を協業する。

IBMはすでに米ニューヨーク州East Fishkillの最新鋭300mmウエハー工場において、ILOG FPOを初期導入し、露光工程と拡散工程のスケジューリングに活用している。サイクルタイムを最大15%短縮したほか、至急ロットの処理時間短縮にも効果があったという。また、ILOG FPOによって製造工程の進捗状況が可視化でき、変化への対応力が増し、より効率的な操業を実現できたと語る。